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    oxford 牛津PED脉冲电子束沉积镀膜系统

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    MicrosoftInternetExplorer402DocumentNotSpecified7.8Normal0oxford 牛津PED脉冲电子束沉积镀膜系统 脉冲电子束沉积(PED)的特点 u 与CW技术相比,例如传统的电子束蒸发,脉冲系统的主要特点是可以在靶材表面上 u 产生最高达108W/cm2的高能量密度。因此,靶材的热动力学特性比如熔点和比热等 u 在蒸发过程中就变得不重要了。这一点对复杂的、多组分材料特别具有优势。与脉 u 冲激光沉积(PLD)相比,脉冲电子束沉积(PED)技...


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