oxford 牛津PED脉冲电子束沉积镀膜系统

脉冲电子束沉积（PED）的特点

u 与CW技术相比，例如传统的电子束蒸发，脉冲系统的主要特点是可以在靶材表面上

u 产生最高达108W/cm2的高能量密度。因此，靶材的热动力学特性比如熔点和比热等

u 在蒸发过程中就变得不重要了。这一点对复杂的、多组分材料特别具有优势。与脉

u 冲激光沉积（PLD）相比，脉冲电子束沉积（PED）技术提供了独一无二的平台，在

u 一系列具有重要技术价值的基片上沉积复杂材料的薄膜，其独特的优点在于扩展了

u 材料的范围和应用。这种方法在大批量生产中可以大规模应用且成本低廉

一、PED-120系统的技术指标

l      PEBS-20脉冲电子源和电源

l      真空腔：直径12"

Ø      额定基压：<1x10-6 Torr 

l      基片加热器，直径2"，带控温器

Ø      氧气可达大气压力

Ø      最高温度：950 °C

Ø      温度均匀性：±5 °C

Ø      温度稳定性：±1 °C

Ø      基片加热器档板

l      靶盒，手动控制

Ø      可放置6个1"的靶或3个2"的靶

Ø      靶与法兰的距离：4"

l       气路

Ø      质量流量计控制进入真空腔的流量，量程100sccm

Ø      控制采用单通道设置/数值显示

l      真空泵系统

Ø      260 l/s 带冷阱的涡轮分子泵，高真空泵

Ø      4 m3/hr无油机械泵

Ø      8"闸板阀，手动控制

Ø      排气/出气阀，用于氧气的安全操作

l      真空计，显示读数

Ø      冷阴极型

Ø      对流型

l      系统框架

Ø      占地面积：22”W x 34”D

Ø      空间：    30”W x 34”D

Ø      总高度：  54"-58"

Ø      标准19"电子元件安装架

Ø      脚轮和水平调节器

l        电源

Ø      110-240 VAC/50 Hz, 20 A，单相

二、PEBS-20脉冲电子源系统的技术指标

组成：

l        PEBS-20脉冲电子源

l        电源

l        电子控制系统

l        预装软件的控制计算机

技术指标：

电压：115-230 VAC, 50/60 Hz, 单相 

氧气压力：5-20 mTorr 

电子能量：8-20 kV 

单次脉冲能量：0.1 – 0.8 J 

脉冲能量偏差（Max）：±10% 

能量转换效率：25-30%

脉冲持续时间：~100 ns

脉冲重复速率（Max）：15 Hz

电子束斑面积（Min）：6 x 10-2 cm2

电子束斑面积偏差（Max）：±20%

脉冲能量密度（Max）：1.3 x 108 W/ cm2

Z轴移动距离：50 mm

XY轴移动距离：±20 mm

工作寿命：107 次脉冲

PEBS源的工作温度（Max）：85 °C