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NB100A NB罗茨泵系列
罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用,可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。
特长
结净的真空
腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运转。
用途
照明、电子、光学、半导体
镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
分析仪器、检漏设备,CO2激光设备
技术参数
机 型 |
NB100A |
NB300A |
NB600A |
NB1200A |
|||||||||
项 目 |
|||||||||||||
抽气速率*3 m3/h(L/min) |
50Hz |
95(1580) |
280(4670) |
500(8330) |
1000(16667) |
||||||||
60Hz |
115(1920) |
330(5500) |
600(10000) |
1200(20000) |
|||||||||
最大吸入压力 Pa (连续运转时) |
50Hz |
1.3×103 |
1.2×103 |
1.3×103 |
|||||||||
60Hz |
1.3×103 |
9.3×102 |
1.1×103 |
||||||||||
最大允许压力差 Pa (排出压力-吸入压力) |
50Hz |
8.0×103 |
4.0×103 |
7.3×103 |
|||||||||
60Hz |
6.7×103 |
3.3×103 |
6.0×103 |
||||||||||
极限压力 Pa*1 |
4.0×10‐1 |
6.7×10‐1 |
|||||||||||
标准粗抽泵 |
GLD-N280 VDN301 |
VDN401 |
VSN1501 VSN2401 |
VSN1501 VSN2401 |
|||||||||
电 机 |
kW (极) *2 *4 |
0.4(2) |
0.75(2) |
2.2(2) |
3.7(2) |
||||||||
V-Hz |
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz |
||||||||||||
使 用 油 |
ULVOIL® R-4 |
||||||||||||
所需油量 L |
0.35 |
0.70 |
1.50 |
1.90 |
|||||||||
冷却水量 L/min*6 |
空 冷 |
2 *5 |
2 |
3 |
|||||||||
进水压力 MPa |
- |
|
0.3 |
|
|||||||||
进出水压差 MPa |
- |
0.05 |
0.1 |
||||||||||
重 量 kg |
24 |
49 |
77.5 |
110 |
|||||||||
吸气口径 (JIS B 2290) |
相当 VG50 |
相当 VG80 |
相当VG80 |
相当VG100 |
|||||||||
排气口径 (JIS B 2290) |
相当VF50 |
相当VF80 |
相当VF80 |
相当VF80 |
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