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A2T-12C绿光平面微粒子检测机
品牌：雨泽
GY-30充电型三色表面微污染检查机（防眩白光、黄光、绿光）
品牌：雨泽
AGL1 LED绿光表面检查灯
品牌：雨泽
AU20 UV表面微粒检测机
品牌：雨泽
灯源检查设备系列 KH-27 手持式检查灯 (MACRO机专用)
品牌：雨泽
灯源检查设备系列 KN-55H 手持式钠灯
品牌：雨泽AU70 UV 表面微粒检测机
相对于一般无尘室内广泛被使用之手持Particle Counter 或是落尘监控设备只能检查出环境落尘品质而不能检测出Particle落尘何处的缺点，透过ASYS UV Particle检测机之照射而产生的反差效果，能很轻易的发觉生产设备上的Particle的落点处透过无尘布等的擦拭能有效提高制程良率。
对曝光机、显影机及偏光板贴附机台效果最为显著，其UV光是使用人体无害的UVA波长：365nm，对于制程机台上之有机物质、油渍、水渍、毛屑皆可观察。
照射时所产生的情形
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