SHIMADZU岛津X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA HSA

标准主机包含单色化Al Kα X射线源和Mg/Al Kα双阳极非单色化X射线源，可实现大面积XPS分析、小面积XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能。

兼容多种其它表面分析技术，如 AES/SAM、UPS，并可增加各类样品制备装置。

高功率的单色化Al Kα X射线源，确保最高的分析灵敏度。

平均半径165mm的能量分析器，确保高能量分辨XPS分析。

专利的浸入式磁透镜技术，大幅度提高分析灵敏度。

专利的XPS Mapping技术，最小束斑15μm，可进行微区元素和化学态空间分布分析。

专利的同轴超低能无阴影单电子源荷电中和器，完美解决绝缘体XPS分析。

全自动5轴常中心样品台，实现全自动角分辨XPS分析。

最佳能量分辨率优于 0.45eV（Ag 3d5/2）。

常规分析能量分辨和灵敏度高达0.55eV@1.1Mcps（Ag 3d5/2）。

绝缘体分析的分析能量分辨和灵敏度高达0.68eV@16kcps（PET的C 1s）。

选配单色化Al/Ag双阳极X射线源，实现高能XPS分析。

结合了数据采集和数据处理的Vision软件，可运行于Windows XP/Vista/7等多种平台下，实现各真空室真空度实时显示，操控真空阀门开关，实验条件设定和全自动无人值守分析等强大功能。